クリーンルームA

清浄度:ISOクラス7(C-10000)

温度:23±2℃

湿度:RH50±10%

 

クリーンルームB

清浄度:ISOクラス7(C-10000)

温度:23±2℃

 

小型熱真空チャンバー

供試体の最大サイズ:400 mm×400 mm×400 mm

温度制御範囲:-80~+80℃(-80℃での排熱能力100 W以上)

到達真空度:1.0×10^-7 Torr以上

電気信号チャンネル数:100 ch(Dsub25ピンコネクタ×4)

供試体観察窓:あり

 

小型振動試験機

加振力:500 N

正弦振動;5~2000 Hz

ランダム振動:20~2000 Hz